9510是一款全自動的超原子束表面TRIM機，可通過Cassette自動上下料，適用於半導體薄膜超精密TRIM批量化生產。通過超原子氣體產生、離子化、加速和中和過程，產生所需的特定能量、束流和束斑尺寸的超原子束，用以處理晶圓。高速掃描運動平臺使超原子束在晶圓表面以特定的軌跡、速度、加速度掃描，實現拋光或面型修整。

外形尺寸：3870×1860×2400mm

總重量：5500Kg

相容尺寸

束斑尺寸半高寬

拋光後粗糙度

4-12寸

<5mm

≤1nm

 

項目

技術參數

晶圓尺寸

4,6,8寸(其他尺寸可定制）

上料模式

Cassette自動上下料

晶圓校準

Aligner

去除效率

800 Å*cm2/s@SiO2

支持製程氣體

NF3/Ar/SF6/O2/N2或其他混合氣體

束流強度

100μA@Ar

束斑尺寸

半高寬＜5mm

團簇離子能量

60 keV

設備特點：

  1. 高效量產與穩定一致性
    支援Cassette自動化上下料，高能量離子束實現高效批量生產， 自主離子源技術確保長期穩定性，W2W（片間一致性）≤2nm；
  1. 降低膜厚範圍和粗糙度
    優化的束斑能量分佈，配合智慧化常駐函數，可將膜厚範圍降低至1nm以內，同時將表面粗糙度降低至0.5nm以內；
  1. 無損傷精密加工
    低電流密度工作模式徹底避免電荷損傷，同時保持高蝕刻效率。光阻劑處理無硬化、無殘留，晶圓破損率顯著降低；
  1. 獨特製程靈活性
    獨家氧化製程專為SAW器件頻率修整設計，配合高解析度束斑和寬動態範圍，可靈活應對各類複雜製程需求；