9500是一款半自動的超原子束拋光機，可利用超原子束對2-12寸晶圓或不規則樣品進行超精密表面拋光，可加工材料包括Si、SiC、InP、GaAs、GaN、金剛石、LN、LT、光學晶體等。
相容晶圓尺寸 | 束斑尺寸半高寬 | 拋光後粗糙度 |
2-12寸及不規則樣品 | <10mm | ≤0.5nm |
設備特點：
- 全尺寸相容
適用於不同尺寸樣品的拋光需求，包含不規則形狀樣品；
- 高可靠、長壽命離子源
自主開發的離子源可穩定輸出給定的能量，長時間工作穩定可靠；
- 高精密運動平臺
通過高精密運動平臺精確控制離子束在樣品上的入射位置和角度；
設備規格（9500-001）
項目 | 技術參數 |
晶圓尺寸 | 6, 8英寸及以下尺寸(可訂製） |
上料模式 | 手動上下料 |
定位方式 | 手動/訂製工裝 |
去除效率 | 20keV ：70 Å*cm2/s@SiO2 |
製程氣體 | Ar/SF6/O2/N2或其他混合氣體 |
束流強度 | ＞100μA@Ar |
束斑尺寸 | 半高寬＜10mm |
團簇離子能量 | 20 keV |
外形尺寸（長×寬×高）：2000×1050×2200mm ； 總重量：2170 Kg
注：示意圖隱藏了部分外殼
設備規格（9500-002）
項目 | 技術參數 |
晶圓尺寸 | 6, 8英寸及以下異形（最大尺寸可定制） |
上料模式 | 手動上下料 |
定位方式 | 手動/定制工裝 |
去除效率 | 800 Å*cm2/s@SiO2 |
支持製程氣體 | Ar/SF6/O2/N2或其他混合氣體 |
束流強度 | ＞100μA@Ar |
束斑尺寸 | 半高寬＜5mm |
團簇離子能量 | 60 keV |
外形尺寸（長×寬×高）：2850×1400×2300mm ； 總重量：4500 Kg